Capteurs & Micro-Capteurs

OR MICA : Micro-capteurs et Capteurs Acoustiques

Intégrée dans l’équipe Transducteurs du LAUM (équipe historique présente dès les débuts du laboratoire), l’O.R. Mica regroupe les activités de recherche ayant trait aux micro-capteurs et capteurs acoustiques. Les micro-capteurs comprennent  des capteurs et actionneurs faisant intervenir divers types de transduction (thermique, thermo-électrique, capacitive, électro-dynamique, piézo-électrique, plasma …).

Ces dispositifs sont le plus souvent des MEMS (Micro-Electro-Mechanical  Systems) fabriqués en salle blanche à destination de divers domaines  d’applications dont la téléphonie mobile, le médical, l’aéronautique, … Les collaborations de ces dernières années ont été menées principalement avec le LNE-CNAM, SATIE-CNAM, le CEA Leti, le CEA –DAM, SAFRAN aircarft Engines, Université Rennes-1, ESIEE, UB Barcelone, CREMEN Sousse, ENSET-Med.V University Rabat, etc.

Etalon primaire de capteurs infrasons

Les systèmes développés ces dernières années sont (entre autres) des capteurs SAW pour la détection de polluants, des micro-antennes pour l’amélioration de la détection des cancers du sein, des microphones MEMS pour la téléphonie mobile, des absorbeurs acoustiques hybrides intégrant des technologies MEMS, un étalon primaire de capteurs d’infrasons, …

Micro-antennes

Les outils de conception utilisés sont principalement des modèles électro-acoustiques à constantes localisées, des modèles analytiques intégrant les effets visco-thermiques dans les couches limites et des modélisations multi-physiques par éléments finis.

Les activités de l’O.R. donnent lieu à des enseignements en Master IMDEA et à l’ENSIM au sein de l’IAGS.